多阳极束形可变的冷阴极离子源的放电特性的研究

研制了新型多阳极永磁冷阴极离子源，它可用于低能离子束辅助淀积、离子束刻蚀和离子束表面改性等领域。该新型离子源具有引出束形状、密度分布易于改变管制的优点，从而能预期离子束轰击靶面上的密度分布。本文研究了几种多阳极结构，其单元阳极为矩形或圆形。论述了子阳极几何形状及它们的布局对放电的影响，阐明了放电特性与气压、磁场和阳极纵宽比的关系。文中特别讨论了子阳极间沟道的作用。