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硝酸氧化法制备液晶显示器薄膜晶体管(TFT)
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职称材料
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摘要
日本大阪大学小林光教授等人开发成功一项制备TFT的新技术一一硝酸氧化法。该技术的关键在于把硅浸于浓度高于68%的硝酸水溶液中,在低于120℃温度下硝酸分解而产生具有强氧化力的离解氧离子与硅起反应,
出处
《金属功能材料》
CAS
2011年第3期49-49,共1页
Metallic Functional Materials
关键词
硝酸氧化法
薄膜晶体管
液晶显示器
制备
日本大阪大学
新技术
TFT
水溶液
分类号
TN321.5 [电子电信—物理电子学]
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