对工业用干泵上方残余气体成分进行对比的比较法的研究

质谱测定法已经表明，在工业用干泵的入口或气镇口的极小气流能足以完全抑制干上方残余气体的氟化烃油污染。相反，在没有气体流动时，氟化烃油浓度的测量能为泵的清洁性能提供有用的对比显示。目前还没有一个通用标准在干泵上方残余气体的污染程度方面对泵性能下定义。因此，现已从事了一系列的研究来确定合适的技术以便始终如一地面再污染和蔼的测量，并以此给出泵性能的精显示。这种测量是重要的。