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电子束扫描旋转和正交的自动调节

Automatic Adjustment of the Straight Intersection and Rotation of the E Beam Scanning Field
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摘要 本文介绍SDS—2 电子束扫描系统。它确保了扫描系统的输出线性,减小了对偏转放大器高频响应的要求。轴向地址分辩率为16 Bit,扫描场尺寸、旋转和正交性都可以自动调节。在50—100 nS时间内闭合一个开关产生平滑的斜坡。使扫描速度相当于逐点式扫描电子束系统的10MHz。 This paper describes rapid dynamic compensatinon of the SDS 2 E beam scanning system.It ensures the linearity of E beam scanning system and reduces the requirement of the deflection amplifier.The address resolution is 16 bit peraxis.All the scanning field adjustments are automatic.A smooth ramp is produced by a switch which is closed in 50 100nS period.Scanning speed of SDS 2 E beam scanning system is equivalent to 10 MHz of the digital point to point scanning.
作者 方一兵 尹明
出处 《山东轻工业学院学报(自然科学版)》 CAS 1999年第4期30-32,共3页 Journal of Shandong Polytechnic University
关键词 矢量扫描 SDS-2 电子束扫描系统 自动调节 scanning field,high frequency response,deflection amplifier,vector scanning
  • 相关文献

参考文献2

  • 1尹明 张玉林.-[J].微细加工技术,1998,(3):37-41.
  • 2安德祥 尹明.-[J].电子学报,1987,15(3):27-30.

共引文献1

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