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Si_3N_4对导电BN蒸发舟性能影响 被引量:3

Affect of Si_3N_4 On Properties of Conductive BN Evaporating Boat
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摘要 本文通过对BN-TiB2 基导电蒸发舟中添加一定量的Si3N4,研究了Si3N4对导电蒸发舟电性能、耐腐蚀性能的影响。研究表明,添加适量Bi3N4 能够在保持电性能良好的基础上,大大提高导电蒸发舟的耐腐蚀性,从而延长了其使用寿命。 In this paper,by adding certain contents of Si 3N 4 to conductive evaporatirg boat of BN TiB 2 base,the effect of Si 3N 4 on properties of electrictity and corrosion resistance of conductive evaporating boat is studied It shows that on the basis of keeping good electric property of conductive evaporating boat by adding certain contents of Si 3N 4,the corrosion is also improved greatly to prolong its living life
出处 《山东陶瓷》 CAS 1999年第4期26-29,共4页 Shandong Ceramics
关键词 蒸发舟 腐蚀 氮化硅 氮化硼 包装 真空镀钻纸膜 Si 3N 4 BN Evaporating boat Corrosion
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参考文献3

共引文献7

同被引文献48

引证文献3

二级引证文献11

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