DeviceNet现场总线在半导体设备中应用探讨

通过对Devicenet总线的结构,驱动程序及性能方面的介绍,提出了Devicenet总线在半导体设备中的应用。Devicenet总线不仅具有开放、高效、低价、抗干扰能力强、测量及控制精度高等特点,而且成本也比较低。