大连化物所开发出钯复合膜纯化多晶硅生产循环氢气的技术

中科院大连化物所、大连华海制氢设备有限公司共同研发的金属钯复合膜氢气纯化装置目前完成了200m3／h规模工业化示范。该技术彻底解决了多晶硅生产循环氢气中痕量和超痕量杂质难以去除的难题。可使多晶硅质量均达到电子级标准。