其他专用涂料

压印光刻用乙烯醚型阻蚀组合物及其在压印工艺中的应用 该涂料组合物适用于UV压印光刻，其含≥1种带有≥2个乙烯醚基的乙烯醚交联剂、≥1种含单官能乙烯醚化合物的稀释剂和≥1种光酸产生剂（可溶于≥2种单宫能醚化合物和≥1种乙烯醚化合物这两种化合物中或可溶于其中的一种化合物中），其中≥1种单官能醚化合物和≥1种乙烯醚化合物不含氟和硅成分。