SnO_2薄膜的喷涂法制备被引量：3

Preparation of SnO _2 Thin film by Spraying Method

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摘要采用ＳｎＣｌ４水解溶液，用喷涂、退火的方法制备ＳｎＯ２薄膜，并研究了ＳｎＯ２ Adopted hydrolysis solution of SnCl 4,the SnO 2 films have been preparated by spraying and annealing method.The relation between electrical properties of SnO 2 films and doped impurity concentration have been investigated.

作者贾维国宋晓琴张常在刘玉琴

机构地区内蒙古大学物理学系

出处《内蒙古大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 1999年第6期697-698,共2页 Journal of Inner Mongolia University：Natural Science Edition

关键词喷涂法薄膜二氧化锡掺杂浓度制备 spraying method SnO_2 thin film

分类号 TN304.21 [电子电信—物理电子学] O484.1 [理学—固体物理]

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