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微加工静电超声传感器的动力学机制及其建模 被引量：2

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摘要 通过对微加工静电超声传感器的动力学机制的深入研究发展了一个空气弹簧支撑的张力板模型 (tensile plate on air spring,简称为TDK模型 ) .该模型全面计及了气隙空气弹簧的刚度 ,膜片的弯曲刚度和平面张力这三个机械刚度及一个静电负刚度的影响 .根据这个模型通过适当选用传感器的几何结构 ,尺寸和材料 ,便可获得所需要的基频和带宽 ,从而为微加工超声传感器的研究和优化设计提供了一个可靠的理论基础 .
作者 葛立峰
机构地区 安徽大学自动化系
出处 《中国科学（A辑）》 CSCD 1999年第11期1013-1019,共7页 Science in China(Series A)
基金 国家自然科学基金资助项目!(批准号 :6 99740 0 1)
关键词 静电超声传感器 微气隙结构 动力学机制 微加工
分类号 TG669 [金属学及工艺—金属切削加工及机床] TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
  • 相关文献

参考文献5

  • 1葛立峰.微气隙结构静电超声传感器的理论模型[J].科学通报,1997,42(22):2387-2391. 被引量：2
  • 2谭祥金 党跃武.信息管理导论[M].高等教育出版社,2002..
  • 3傅铿.文化:人类的镜子[M].上海:上海人民出版社,1990..
  • 4刁生富.21世纪网络人生指南[M].广东:广东高等教育出版社,2003..
  • 5熊澄字.信息社会4．0[M].长沙:湖南人民出版社,2002..

二级参考文献1

  • 1Ge L F，J Acoust Soc Am，1995年，98卷，5期，2917页

共引文献11

同被引文献18

  • 1葛立峰.声和超声现象测量的进展：世纪之回顾和展望.面向21世纪的科技进步与社会经济发展论文集（上册）[M].杭州,1999,10.63.
  • 2Oralkan O, Ergun A S, Johnson J A, et al. Capacitive micromachined ultrasonic transducers: Next generation arrays for acoustical imaging? IEEE Trans Ultrason Ferroelect Freq Contr, 2002, 49(11): 1596--1610
  • 3Haller M I, Khuri-Yakub B T. A surface micromachined electrostatic ultrasonic air transducer. IEEE Trans Ultrason Ferroelect Freq Contr, 1996, 43(1): 1--6
  • 4Ladabaum I, Jin X, Soh H, et al. Surface micromaehined capacitive ultrasonic transducers. IEEE Trans Ultrason Ferroelect Freq Contr, 1998, 45(3): 678--690
  • 5Khuri-Yakub B T, Cheng C H, Degetekin F L, et al. Silicon micromachined ultrasonic transducers. Jpn J Appl Phys, 2000, 39(5B): 2883--2887
  • 6Oralkan O, Ergun A S, Cheng C H, et al. Volumetric ultrasound imaging using 2-D CMUT Arrays. IEEE Trans Ultrason Ferroelect Freq Contr, 2003, 50(11): 1581--1594
  • 7Ge L F. Progress in electrostatic transducers for sound and ultrasound. J Anhui University (in English), 2000, 24(3):74--84
  • 8Ge L F, Theoretical simulation of the behaviour of micromachined electrostatic ultrasonic transducers. 5th Intl Conf Theoretical and Computational Acoustics, 2001. In: Er-Chang Shang, et al, eds. Theoretical and Computational Acoustic 2001. Singapore: World Scientific Publishing Co, 2002.459--469
  • 9Ge L E Simulation of silicon micromachined ultrasonic transducers. In: 5th Intl Symp Instrumentation and Control Tech SPIE No 5253. 2003. 15--18
  • 10Ge L F. Equivalent circuit approach to electrostatic or capacitive ultrasonic transducers. In: Proc 18th International Conference on Acoustics. 2004, III: 2255--2258

引证文献2

中国科学（A辑）
1999年 第11期

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