期刊文献+

计算机全数字控制直拉单晶硅系统 被引量:1

下载PDF
导出
摘要 在国内首次实现了φ76.2mm直拉单晶硅减速拉晶、控氧、等径到收尾的全过程计算机全数字控制,摸索出一套基本控制模式和工艺方法。该系统能全自动保持理想的温度补偿,保证各炉单晶生长的工艺参数曲线的一致性,从而提高了单晶棒性能的一致性、产品实收率、电阻率和氧分布的均匀性。
出处 《稀有金属》 EI CAS CSCD 北大核心 1990年第4期269-275,共7页 Chinese Journal of Rare Metals
  • 相关文献

同被引文献8

  • 1孙军,孔勇发,李兵,张玲,刘士国,黄自恒,瓮松峰,舒永春,许京军.等径控制系统的改进及在光学级铌酸锂生长中的应用[J].人工晶体学报,2004,33(3):305-309. 被引量:16
  • 2潘春月,李世伦.基于遗传算法的单晶炉热场温度控制系统[J].机电工程,2006,23(7):41-43. 被引量:3
  • 3Hurle D T J. Crystal Pulling From the Melt[ R]. Berlin : Springer, 1993:5,13,19,20,44,96.
  • 4Shah D, Klemenz C F. Delay-based Control Model for Czochralski Growth of High-quality Oxides[J]. Journal of Crystal Growth, 2008,310(7- 9) :1448-1454.
  • 5Denise M M. Modeling and Control of the Czochralski Crystal Growth Process[ D]. Texas A & M University, Ph. D, 2001.
  • 6Qiu H H. Development of A Computer Control System with Self-tuning Growth Rate Control fur The Czochralski Crystal Growth Process [ D ]. University of Central Florida, Ph. D, 1997.
  • 7Ning D M. Modeling, Dynamic, and Control of The Czochralski Crystal Growth Process[D]. Boston University, Ph. D,2006.
  • 8Koji S, Toshio F, Yasuhisa H. Self-tuning Fuzzy Modeling with Adaptive Membership Function, Rules, and Hierarchical Structure based on Genetic Algorithm[ J ]. Fuzzy Sets and Systems, 1995,71 ( 3 ) :295-309.

引证文献1

二级引证文献1

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部