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半导体的应变效应:理论和器件应用
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摘要
应变是半导体物理学中一个传统的概念。早些年,应变效应并未引起学者们的广泛关注,直到其在VISL半导体工业中展现了它的重要作用,人们才开始注重对半导体应变效应的研究。目前,几乎每个半导体加工厂都以各种手段引进应变效应来增强器件的性能。
作者
刘晓红
机构地区
中国科学院电子所
出处
《国外科技新书评介》
2011年第6期8-9,共2页
Scientific & Technology Book Review
关键词
半导体物理学
应变效应
器件应用
半导体工业
加工厂
分类号
TN301 [电子电信—物理电子学]
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