光诱导MOCVD技术现状及前景展望

本文评述了光诱导MOCVD技术的发展水平和技术进展。着重从生长动力学的角度介绍了光诱导MOCVD技术的原理、实验装置和光源的选取。并总结了可供借鉴的光诱导MOCVD的淀积规律,最后展望了该技术的未来。