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IMEC利用CMOS工艺制程GaNMISHEMTs
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摘要
欧洲微电子研究中心（Interuniversity MicroelectronicsCentre。即IMEC）与其合作伙伴共同开发了在200毫米硅片上生长GaN／A1GaN的技术。
出处
《中国集成电路》
2011年第7期6-6,共1页
China lntegrated Circuit
关键词
CMOS工艺
制程
利用
合作伙伴
微电子
GAN
硅片
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
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中国集成电路
2011年 第7期
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