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用气相沉积法制取钨制品

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摘要六氟化钨氢还原沉积钨,即气相沉积钨是钨冶炼中的一项先进技术.利用气相沉积法已制取了各种钨制品.文中介绍了用气相沉积法制取钨制品的工艺与设备,讨论了影响生产过程和制品质量的因素,论述了制得的制品的结构与性能,并指出了这种方法的应用前景.

作者李沐山

机构地区株洲硬质合金厂

出处《稀有金属与硬质合金》 CAS CSCD 1990年第1期53-56,共4页 Rare Metals and Cemented Carbides

关键词气相沉积法钨制品冶炼

分类号 TF841.104 [冶金工程—有色金属冶金]

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稀有金属与硬质合金

1990年第1期

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