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用气相沉积法制取钨制品
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摘要
六氟化钨氢还原沉积钨,即气相沉积钨是钨冶炼中的一项先进技术.利用气相沉积法已制取了各种钨制品.文中介绍了用气相沉积法制取钨制品的工艺与设备,讨论了影响生产过程和制品质量的因素,论述了制得的制品的结构与性能,并指出了这种方法的应用前景.
作者
李沐山
机构地区
株洲硬质合金厂
出处
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
1990年第1期53-56,共4页
Rare Metals and Cemented Carbides
关键词
气相沉积法
钨
制品
冶炼
分类号
TF841.104 [冶金工程—有色金属冶金]
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稀有金属与硬质合金
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