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第十七讲 薄膜与表面技术基础

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摘要 金属在切割、研磨和抛光后,除了表面产生贝尔比层之外,还存在着各种残余应力,同样对材料的许多性能发生影响。残余应力是材料经各种加工、处理后普遍存在的。残余应力(内应力)按其作用范围大小可分为宏观内应力和微观内应力两类。在内部残存作用范围大的应力为宏观内应力;反之,在内部残存作用范围小的应力为微观内应力。
作者 张以忱
机构地区 东北大学
出处 《真空》 CAS 北大核心 2011年第4期80-82,共3页 Vacuum
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