MEMS器件自动贴片机的研究与设计

为能够实现MEMS器件生产的自动化、柔性化、高速化,研究和设计具有飞行视觉系统的贴片机。该贴片机能够自动找寻器件基准图像信息,在飞行中自动捕获拾取芯片位置的图像信息,求取特征点的XY坐标及角度坐标,并根据计算结果自行规划执行单元的运动轨迹。通过验证,该贴片机能够满足MEMS器件贴片的精度、速度和自动化的要求,可有效提高MEMS器件的生产质量,减少劳动强度,提高生产效率。为MEMS器件生产的自动化提供了解决方案,具有重要的经济效益。