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在驰豫Si1—xGex上生长应力Si NMOSFETs
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职称材料
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作者
苏宇欢
出处
《电子材料快报》
1999年第10期17-18,共2页
关键词
锗化硅
硅
NMOSFET
分类号
TN387 [电子电信—物理电子学]
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电子材料快报
1999年 第10期
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