摘要
利用薄膜光学理论及材料在软X射线波段的原子散射因子,设计了大批量的软X射线多层膜的计算程序,对常用材料的膜系配对进行了优化设计,给出的结果对软X 射线整个波段内的多层膜膜系的选择有一定的指导意义。
A theoreticdesign and resultsofthe softX-ray multilayers are reported for the whole soft X-ray wavelength region. The optim alm ultilayers and their structuresarepredicted fordifferentw avelengths.
出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
1999年第12期1127-1132,共6页
Chinese Journal of Lasers
基金
国家自然科学基金!(编号:69587009)
关键词
X射线
多层膜
反射率
全波段
softX-ray m ultilayer, reflectivity, theoreticdesign ofthe softX-ray m ultilayers
