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软X射线多层膜技术及其应用

Soft X-Ray Multilayer Technics and Applications

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摘要介绍了软X射线多层膜的研究进展,讨论了软X射线多层膜的选材和制备过程中应该注意的问题。最后给出了软X射线多层膜的应用。

作者柯常军王占山曹健林

机构地区中国科学院电子学研究所中国科学院长春光机研究所应用光学国家重点实验室

出处《自然杂志》 1999年第6期344-345,共2页 Chinese Journal of Nature

基金国家自然科学基金(69778026) 国家863高科技资助项目

关键词软X射线多层膜反射率膜技术光学薄膜 soft x-ray, multilayer, reflection

分类号 O434.19 [机械工程—光学工程] TB43 [一般工业技术]

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自然杂志

1999年第6期

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