摘要
简要地评述了硅微波功率ＤＭＯＳＦＥＴ （ＬＤＭＯＳ， ＶＤＭＯＳ） 的发展概况， 叙述了硅微波功率ＤＭＯＳ的基本结构和一些重要的制造技术。对微波功率ＤＭＯＳ的性能、特点与ＢＪＴ进行了比较， 并对其应用、发展方向及前景进行了探讨。
This paper briefly reviews the development of Si microwave power DMOS FET(LDMOS,VDMOS).The basic structures and some important fabrication technology of Si microwave power DMOS are introduced.The performance and characteristics of microwave power DMOSFETs are compared with BJT.The applications and future development tendency are discussed.
出处
《半导体情报》
1999年第6期6-11,26,共7页
Semiconductor Information
