期刊文献+

硅压力传感器研究现状 被引量:3

Current State of Silicon Pressure Sensors
下载PDF
导出
摘要 论述了硅压力传感器国内外研究现状及应用前景 The development level,the trend and the applications of silicon pressure sensors are discussed.
作者 王丰
出处 《半导体情报》 1999年第6期35-37,45,共4页 Semiconductor Information
关键词 压力传感器 传感器 Silicon pressure sensor Structure of silicon cup
  • 相关文献

同被引文献16

引证文献3

二级引证文献54

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部