摘要
对压电陶瓷微位移驱动器用于超精密二维柔性微定位系统的几个关键技术进行了理论分析和实验研究，并得到了二维微定位系统的双向静态、动态特性曲线。经测试，通过闭环控制的定位重复性精度在-１５ｎｍ～＋１５ｎｍ以内，采取这些关键技术措施是可行的。
The key techniques of ultraprecision 2D flexible positioning with PZT actuator areanalyzed in theory and studied by experiment.The duplex static and dynamic characteristic curvesare gained. By tests,the position repeatability of closed loop control is -- 15 nm-- + 15 nm. So thekey techniques are feasible.
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
1999年第6期493-497,共5页
Piezoelectrics & Acoustooptics
基金
国家自然科学重点基金!59835180
关键词
超精密定位
压电陶瓷
驱动器
ultraprecision position
micro-displacement
PZT
flexible hinge
capacitive sensor
