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摘要 MEMS进入新的增长周期 2011年为期3天的Semicon欧洲展览会将在德国德累斯顿举行,为MEMS/MST行业的所有参与方搭建理想的平台。MEMS市场的发展前景很难预料,凭借2010年22%的增长率,MEMS和传感器市场已再次步入正轨。根据可靠的预测,这一趋势将进一步延长至2015年。
出处 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第8期546-546,共1页 Micronanoelectronic Technology
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