摘要
介绍了MEMS技术的发展概况及MEMS器件在信息领域、传感领域、生物技术领域的应用,重点介绍了MEMS在生物医疗中的应用及未来发展的趋势。
Overview of MEMS technology and MEMS devices in the field of information,sensor field,the field of biotechnology applications,highlighting MEMS in biomedical application and future development trends.
出处
《装备制造技术》
2011年第8期6-9,共4页
Equipment Manufacturing Technology
