用于X射线干涉纳米测量的微动工作台的有限元分析

Ｘ 射线干涉纳米测量系统要求分析器的俯仰角为１０－ ８ｒａｄ量级，侧滑角为１０－ ６ｒａｄ量级，为此设计了对称式高精度微动工作台，并利用有限元分析软件对设计的结构形式进行了分析，旨在找出影响其性能参数的主要因素。