摘要
着重介绍了硅ＭＥＭＳ加工技术中的表面牺牲层技术及其应用，并给出了我国ＭＥＭＳ 发展的概况。
同被引文献14
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2丁衡高，微米纳米科学与技术，2000年，5卷，1期，1页
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