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微麦克风的研究及展望

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摘要 对微麦克风的发展过程及研究现状进行了评述,重点介绍了电容式、电压式、铁电式三种微麦克风的研究现状及发展前景。
机构地区 清华大学
出处 《电子科技导报》 1999年第12期24-26,29,共4页
基金 国家"九五"科技攻关!(977600302) 国家自然科学基金!(69806007)
  • 相关文献

参考文献2

  • 1邹泉波.硅基MEMS基础工艺技术研究及微硅麦克风的研制.1996年清华大学工学博士学位论文[M].,..
  • 2李志坚 任天令 等.-[J].半导体学报,第20卷,第3期,1999,:177-182.

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