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全密封硅电容式加速度计制作技术
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摘要
介绍了全密封硅电容式加速度计的结构,阐述了高平面度平行度的不粘片研磨抛光方法,硅的各向异性刻蚀工艺和静电静接技术,并对测试结果进行了分析讨论。
作者
王保安
吴嘉丽
出处
《电子技术参考》
1999年第4期69-72,共4页
关键词
硅
电容式
加速度计
分类号
TH824.4 [机械工程—精密仪器及机械]
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