TDR—80型单晶炉的研制

下载PDF

导出

摘要介绍TDR—80 型单晶炉的设计思路及工作原理,并结合单晶炉的特殊工艺要求。

作者李留臣耀飞黔

机构地区西安理工大学

出处《电子工业专用设备》 1999年第4期25-27,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词 TDR-80型半导体材料单晶单晶炉

1高利强,张红勇.TDR-ZY40C型中压单晶炉的研制[J].电子工业专用设备,2004,33(12):69-72.
2付一凡,周阿康.TDR—GY30SC高压单晶炉的研制[J].LSI制造与测试,1992,13(6):43-46. 被引量：1
3董淑梅,梁秀梅,赵逸谦,高利强.TDR-Y60A型氧化物单晶炉的研制[J].电子工业专用设备,2000,29(2):56-59. 被引量：5
4郭亚洲,张树敏.TDR—ZY40型单晶炉[J].LSI制造与测试,1993,14(1):30-31.
5高利强,王建春,楚波.T46X型硒镓银单晶炉的研制[J].电子工业专用设备,2005,34(3):28-30. 被引量：1
6孟庆成,何其畏,张英明.感应加热高温贵重金属烧结炉[J].工业加热,1999,28(4):36-38. 被引量：1
7赵吉祥,陈有庆.φ1600×3500强力混合机的研制及应用[J].冶金设备管理与维修,1997(4):3-5.
8王文明.亚砜萃取Pd(Ⅱ)的结构及性能研究[J].贵金属,1990,11(2):1-5. 被引量：9
9MaurizioRondi,MBFerri,杜成武,孙勇.达尔明公司TDR电极调节技术及碳氧喷射新系统的应用[J].世界钢铁,2003,3(3):44-50.
10刘起航,吴铿,湛文龙,任海亮.COREX用煤成焦的高温性能研究[J].东北大学学报（自然科学版）,2014,35(8):1155-1159. 被引量：1

电子工业专用设备

1999年第4期

浏览历史

内容加载中请稍等...