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压阻型压力传感器的零点温漂及其补偿技术 被引量:10

The Temperature Drift Of The Bridge Offset For The Piezo-resistive Pressure Sensors And Its Compensation Techniques
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摘要 本文分析了压阻型压力传感器的零点温漂产生的原因,并介绍几种补偿技术。 This paper analyses the origin of the temperature drift of the bridge offset for the piezo-resistive pressure sensors and presents some of the compensation technique to minimize it.
机构地区 河北工业大学
出处 《半导体杂志》 1999年第4期40-49,共10页
基金 国家自然科学基金!(69672015) 河北省自然科学基金
关键词 压力传感器 零点温漂 补偿技术 传感器 pressure sensors Temperature drift of the bridge offset compensation techniques
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