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半导体制造:跟随还是超越摩尔定律 被引量:1

Semiconductor Process:More than Moore or More Moore
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摘要 摩尔定律指引下的半导体工艺车轮不断前行,今年又将碾过全新的制程节点,面对全新工艺对整个产业链的挑战,以及摩尔定律自身的挑战,本文将详细介绍整个半导体产业链如何应对。
作者 李健
机构地区 <电子产品世界>
出处 《电子产品世界》 2011年第8期25-31,共7页 Electronic Engineering & Product World
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