电子级高纯多晶硅生产工艺研究

高纯、超高纯多晶硅包括电子级、区熔级多晶硅，是主要的半导体电子材料，也是国防航空的基础材料，其后续产品广泛应用于电子信息领域。近年来，我国电子信息产业快速发展，特别是高科技领域对电子级多晶硅的需求量有所增加。