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砷化镓半导体材料与器件中高频场分布研究的新方法——脉冲电光检测技术

A new method——pulse electro-optic probing fo r studying the distribution of high frequency electric field in GaAs material and devices
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摘要 介绍了砷化镓材料和器件中高频电场的分布测量的新方法——谐波混频脉冲电光检测:它的原理、实验装置以及在砷化镓共平面波导中微波驻波场分布测量中应用的结果.在频率高达20.10GHz及开路、短路和50Ω不同的负载条件下测得的结果与理论预计值符合很好.本文最后对方法的灵敏度和空间分辨率进行讨论. This paper presents a new method——Harmonic-Mixing Pulse Eleotro-Optio Probing for measureing the distribution of high frequency electric field: its principle, experimental apparatus, and its application to the measurement of standing-wave in GaAs coplanar waveguide. Experimental results gotten from measurements at frequencies up to 20.10 GHz and with different terminations (short,open and 50 ohms) are in good agreement with that predicted by theory. A discussion on the sensitivity and spatial resolution of this measurement method is given.
作者 朱祖华
出处 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1989年第12期1103-1108,共6页 Acta Optica Sinica
关键词 砷化镓 脉冲电检测 半导体 ps optic pulse harmonic-mixing electro-optic probing microwave integrated circuit.
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