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类金刚石碳膜的制备及其应用

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摘要类金刚石是一种新型材料,制备应用这种材料已成为国内外研究的热门课题。本文作者结合自己多年的研究工作,就这种材料的制备及其特性、结构和应用作了介绍和述评、

作者王和照

机构地区合肥工业大学物理系

出处《新技术新工艺》北大核心 1990年第5期2-3,共2页 New Technology & New Process

关键词类金刚石碳膜制备薄膜 DLC膜

分类号 TN304.18 [电子电信—物理电子学]

引文网络
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新技术新工艺

1990年第5期

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