基于Pro/Innovator提高太阳能电池硅片预清洗度的研究

针对太阳能电池硅片在切片加工过程中预清洗时间长、效果差,尤其是硅片间中部和上部的SiC颗粒清洗困难、不易清除等问题,基于计算机辅助创新平台Pro/Innovator,对硅片预清洗系统作系统分析,找到了一个有害因素和两个不足因素,同时利用Pro/Innovator因果分析法分析了硅片预清洗度低的原因。基于TRIZ理论,对影响硅片预清洗效果的不同问题进行了分析,总结出了切实可行的解决方案,提高了硅片的清洗度和生产效率。