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平行平晶平面度测量结果的不确定度评定

Evaluation of Uncertainty in Measurement of Flatness of Optical Flat
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摘要 本文依据JJG29-2000《平晶检定规程》,使用平面等厚干涉仪,对平行平晶平面度的不确定度进行了分析,给出了完整的不确定度评定过程,为平行平晶平面度校准提供了完善的不确定度评定方法。
作者 于泓 孙鹏
出处 《计量与测试技术》 2011年第8期71-73,共3页 Metrology & Measurement Technique
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