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平行平晶平面度测量结果的不确定度评定
Evaluation of Uncertainty in Measurement of Flatness of Optical Flat
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摘要
本文依据JJG29-2000《平晶检定规程》,使用平面等厚干涉仪,对平行平晶平面度的不确定度进行了分析,给出了完整的不确定度评定过程,为平行平晶平面度校准提供了完善的不确定度评定方法。
作者
于泓
孙鹏
机构地区
牡丹江市质量技术监督检验检测中心
出处
《计量与测试技术》
2011年第8期71-73,共3页
Metrology & Measurement Technique
关键词
平行平晶
平面度
不确定度
分类号
TG83 [金属学及工艺—公差测量技术]
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计量与测试技术
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