硅在光学薄膜中的初步应用
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2丁明芳,刘静.超薄膜SOI技术与深亚微米ULSI的发展[J].电子测量与仪器学报,2004,18(4):89-93.
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3白兰,吴一辉,张平,王淑荣.PDMS薄膜电磁微泵的原理与制作[J].微细加工技术,2003(2):54-58. 被引量：2
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4黄宜平,李爱珍,汤庭熬,鲍敏杭.多孔硅及其在SOI技术中的应用研究[J].微电子学与计算机,1995,12(2):18-19. 被引量：1
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5李丽伟,朱荣,周兆英,任建兴.微驱动器的压电-弹性耦合分析(英文)[J].微纳电子技术,2008,45(9):532-537.
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6李庆祥,徐毓娴,薛实福,刘永生.AFM力传感器微机械加工技术的研究[J].仪器仪表学报,1996,17(S1):162-164. 被引量：1
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8徐领娣,郑立功,范镝,张学军,王加朋.空间RB-SiC反射镜的表面离子辅助镀硅改性技术[J].光学精密工程,2008,16(12):2497-2502. 被引量：8
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