大型光学零件镀膜过程中的温度影响
出处
《光仪技术》
1989年第1期18-21,24,共5页
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1匡芬,戴伟,陈亮,赵宇.基于质量损失的加工过程可靠性评估方法[J].计算机集成制造系统,2015,21(6):1571-1578. 被引量:8
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2陈维,刘桂礼,李东,王艳林.基于单片机的石英晶片镀膜测控系统设计[J].微计算机信息,2007,23(04Z):131-133. 被引量:1
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3王占山.18.2nm Schwarzschild显微物镜用多层膜带宽匹配问题分析[J].光学精密工程,1999,7(3):14-18. 被引量:1
-
4吴蔚,王丹伟,于红波,张胜.全自动智能化计算机控制系统在真空离子镀膜机中的应用[J].机械工业标准化与质量,2013(9):28-30. 被引量:1
-
5王占山.膜厚控制误差对软X射线多层膜性能影响的分析[J].光学精密工程,2003,11(2):136-138. 被引量:11
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