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我国研制成功光学膜厚智能测控仪

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摘要近日,成都中科唯实仪器有限责任公司技术研发部门通过自主设计,完成光学膜厚智能测控仪研发任务。传统的光学镀膜采用极值法膜厚监控方式,正确判定极值点是镀膜操作人员的重要操作技术,

出处《生命科学仪器》 2011年第4期15-15,共1页 Life Science Instruments

关键词智能测控仪光学镀膜膜厚操作技术自主设计监控方式操作人员极值法

分类号 O484.41 [理学—固体物理]

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生命科学仪器

2011年第4期

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