原子层外延法生长金刚石

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摘要原子层外延生长(ALE)最初被设想为生长半导体化合物的一种方法,生长层具有大面积的非凡均匀性,层面厚度能被精确控制。当应用于金刚石时,ALE不仅仍保持上述特性,而且致力于解决悬挂碳键/石墨夹杂物问题。

作者 M.N.Yoder 树安

出处《新型炭材料》 SCIE EI CAS CSCD 1990年第1期46-48,共3页 New Carbon Materials

关键词原子层外延法金刚石生长

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2朱文,杨君友,郜鲜辉,侯杰,鲍思前,樊希安.电化学原子层外延法制备碲化铋薄膜[J].应用化学,2005,22(11):1167-1171. 被引量：3
3王浩,廖常俊,范广涵,刘颂豪,郑树文,李述体,郭志友,孙慧卿,陈贵楚,陈炼辉.应用原子层外延技术分析Turbo-Disk MOCVD外延生长模式[J].液晶与显示,2004,19(2):128-133.

新型炭材料

1990年第1期

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