化学气相沉积(CVD)法制晶体金刚石的机理

引言现在正用低压气体来制造晶体金刚石而不是过去传统考虑的高温高压。生产金刚石的气相沉积过程所用的温度和压力条件对碳来说其稳定形式是石墨。然而。