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复合结构静电感应晶体管的终端造型

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摘要 为了克服几何形状(曲率效应)造成的边角电场对平面扩散结击穿性能的劣化效应,对应于静电感应器件的复合结构,采用限场环与切断环作为终端造型,使结边界处的耗尽层宽度反窄化效应而展宽,以分散电力线并降低表面电场。
作者 朱筠 李思渊
出处 《科技信息》 2011年第25期I0011-I0012,共2页 Science & Technology Information
基金 甘肃省攻关项目(GS012.A52-064)
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