微型惯性装置研发溯源

自微电子技术问世以来,人们不断追求越来越小、越来越完善的微小尺度的装置,并对生物、环境控制、医学、航空、航天、精确制导弹药、灵巧武器、先进情报传感器以及数字通信等领域,不断提出微小型化方面更新更高的要求。