微机电系统文献计量分析

Research on the bibliometrics analysis of MEMS

微机电系统(MEMS)是基于微机械或微电子技术的微型机电器件或系统,主要包括微传感器、微执行器、微系统等。MEMS作为新兴的高技术产业之一,已成为世界各国政府竞相争夺的技术制高点之一。本文通过对MEMS领域的SCI文献计量分析,结果显示,近年来,该领域的研究呈现出增长趋势,美国在MEMS领域的研究处于绝对领先的地位。SCI文献分析表明,薄膜、微加工、封装、传感器等是近年来研究的热点领域。