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可靠地实现前级真空

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摘要在高纯度的分析技术领域，或者在腐蚀性气体的应用中，无油的隔膜真空泵可以代替涡轮式真空泵实现前级真空，并表现出很多优点。同时，隔膜真空泵在变速调节系统的帮助下延长了维护保养周期。

作者 Jurgen Dirscherl

机构地区 Vacuubrand公司

出处《流程工业》 2011年第22期44-44,46,共2页

关键词真空泵前级腐蚀性气体保养周期调节系统涡轮式隔膜

分类号 TB752 [一般工业技术—真空技术]

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流程工业

2011年第22期

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