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采用综合法封装MEMS加速仪 被引量:2

A multidisciplinary approach for effective packaging of MEMS accelerometer
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摘要 MEMS封装系统应有MEMS执行感应功能,而且还要避免受到外界环境的影响,同时持续地改进质量,达到较高的ppm性能。本文采用SOIC封装,必须维持一个特定的共振频率,从而防止传感器被粘住或卡住。同时,封装必须确保传感器是可靠和完整的,没有出现断裂或输出偏差。本文采用一种综合学科研究方法,以确定合适的固晶材料来彻底解决器件断裂的问题。这种方法涉及振动分析、电气响应测定、压力分析和断裂力学。
机构地区 飞思卡尔半导体
出处 《电子产品世界》 2011年第11期8-8,10-12,共4页 Electronic Engineering & Product World
关键词 MEMS 封装 加速仪
  • 相关文献

参考文献4

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同被引文献8

引证文献2

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