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研合膜的厚度对量块组合长度影响的分析
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摘要
用绝对光波干涉法测量量块的长度时,由于量块和辅助平晶的研合质量不同,往往多次测量(甚至尺寸不大的量块)所得结果的分散性会达到(0.05~0.08)μm。因此,量块组合使用时,为了保证良好研合,常在量块表面涂上油膜。但是此层油膜的厚度会影响量块的测量准确度。
作者
董志欣
金瑾
机构地区
河南省鹤壁市质量技术监督检验测试中心
出处
《中国计量》
2011年第10期110-111,共2页
China Metrology
关键词
量块
研合
油膜
长度
厚度
测量准确度
组合使用
干涉法
分类号
TH711.1 [机械工程—测试计量技术及仪器]
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被引量:1
中国计量
2011年 第10期
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