期刊文献+

研合膜的厚度对量块组合长度影响的分析

下载PDF
导出
摘要 用绝对光波干涉法测量量块的长度时,由于量块和辅助平晶的研合质量不同,往往多次测量(甚至尺寸不大的量块)所得结果的分散性会达到(0.05~0.08)μm。因此,量块组合使用时,为了保证良好研合,常在量块表面涂上油膜。但是此层油膜的厚度会影响量块的测量准确度。
作者 董志欣 金瑾
出处 《中国计量》 2011年第10期110-111,共2页 China Metrology
  • 相关文献

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部