Sb_2O_3和Bi_2O_3掺量对SnO_2薄膜电阻的影响

利用真空电子束蒸发的方法制备了 SnO_2薄膜,对膜的结构进行了分析,研究了 Sb_2O_3和 Bi_2O_3的掺加对 SnO_2薄膜电阻的影响.并对所得到的结果进行了分析和讨论。