高精度光学平面传感器

一、前言 作者开发了一种精度超1nm的非接触式光学平面传感器,其原理是依据焦点探测技术。这种焦点技术,已在光盘检测中使用。焦点探测选用全反射临界角法,这种方法使反射围绕临界角急剧变化。高精度光学平面传感器,能提高灵敏度;消除其它毫微米级表面粗糙度仪测量中的一些误差。它的光学头尺寸只有45×30×65 mm。